인테그리스, 반도체 산업에 반드시 필요한 혁신적 CDS 솔루션 출시

2020-09-23, 이은실 기자

반도체 업계와 하이테크 업계에 첨단 소재 및 공정 솔루션을 공급하는 글로벌 선도기업 인테그리스(Entegris, Inc.)가 최첨단 반도체 제조에 반드시 필요한 CDS(chemical delivery system, 화학약품을 적재적소에 알맞은 양으로 공급하는 장비)에서 정전하를 제거한 새로운 유체 관리 시스템을 출시했다고 발표했다.

반도체 제조에 필요한 용액 및 기타 가연성 화학물질을 전달하는 전통적 스테인리스강 유체 관리 시스템은 극단적으로 작은 금속 불순물에 대한 오늘날의 요구조건에 부응하지 못한다. 그 결과 첨단 반도체 제조업체들은 스테인리스강 시스템에서 벗어나 불소중합체(fluoropolymer, PFA) 시스템을 도입하고 있다. PFA 시스템은 스테인리스강 시스템이 야기하는 금속 오염을 줄여줬다. 다만 비전도성 전기 절연체라는 특성상 정전하와 관련된 새로운 문제를 일으켰다.

인테그리스 첨단소재처리(AMH) 사업부에서 유체관리 부문 부사장을 맡고 있는 브렛 라이쇼유(Brett Reichow)는 "CDS를 통해 흐르는 유체에 누적된 정전하가 방전하면 유체 관리 부품을 손상시키고 종국에는 실리콘 웨이퍼에 결함이 발생할 수 있다"며 "반도체 제조 과정에서 불안정한 상태를 일으킬 수도 있다"고 덧붙였다.

인테그리스는 배관을 통해 흐르는 유체나 배관 밖에서 축적될 수 있는 정전하를 줄이는 것으로 성공리에 검증을 마친 신소재를 통해 해법을 찾았다. 라이쇼우 부사장은 "인테그리스의 PFA 배관은 내부를 전도성 줄무늬로 만들었으며, 전도성 PFA로 피팅을 제조해 씰링 부분이 전도성 줄무늬에 닿으면 접지 경로를 만든다"고 말했다.

인테그리스의 AMH 사업부 수석부사장인 빌 섀너(Bill Shaner)는 "인테그리스는 30여년간 고순도 처리 시장에 혁신적인 커넥션 기술을 공급한 업체로서 안정성은 높이되 잠재적 결함은 줄이는 ESD 솔루션 개발에 유리한 위치를 점하고 있다"며 "인테그리스는 독자적 제조 장비와 공정을 동원해 초고순도 PFA와 전도성 PFA를 한 겹으로 사출 성형했다"고 말했다. 이어 "이런 차별화된 PFA 구조는 금속 오염이 낮출 뿐 아니라 박리 위험과 잠재적 인트랩먼트(entrapment) 구역을 해소해 화학물질의 높은 순도를 그대로 유지한다"며 "인테그리스의 새로운 솔루션은 안전 위험을 줄이고 재산 피해 위험을 최소화하며, 배관이 반투명해 시스템을 통해 흐르는 유체를 눈으로 점검할 수 있다"고 덧붙였다.

인테그리스가 자체적으로 수행한 금속 추출 시험에 따르면 새로운 시스템은 표준 PFA 튜브와 동일한 순도 레벨을 유지한다. 또 제3자 기관을 통한 시험에서 만족스러운 접지 성능을 확인했다.

섀너 수석부사장은 "인테그리스가 특허 출원 중인 새로운 ESD 시스템은 첨단 공정 노드에 필요한 좀 더 순도가 높은 CDS를 향해 진보를 거듭하고 있는 마이크로일렉트로닉스 산업을 지원하고자 개발한 또 하나의 주요 혁신"이라고 말했다.

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